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MEMS氣體傳感器

MEMS氣體傳感器

采用MEMS工藝,結(jié)構(gòu)簡單,利用半導體材料的氣敏特性對環(huán)境中的特定氣體進行檢測;具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復快、驅(qū)動電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等特點。月產(chǎn)能≥100K。

微型化

體積?。壕薮髴?yīng)用領(lǐng)域

成本低:適于大批量應(yīng)用

功耗低:物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的關(guān)鍵要素

多功能化

同質(zhì)傳感器:陣列化傳感器

不同傳感器:多個參數(shù)同時探測

惡劣環(huán)境探測求

集成化

傳感器與電路集成:信號探測、邏輯判斷、功能計算、雙向通訊,以及內(nèi)部自檢、自校、自補償、自診斷等功能

傳感器與微型電源集成:獨立工作,可移動性

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