涂膠顯影機(jī)（SUSS)：Arm傳送方式，涂膠顯影盤邊緣吸附，一體化為MEMS結(jié)構(gòu)器件定制設(shè)備，有多種膠管支撐工藝選擇。

雙面曝光機(jī)(SUSS)：支持雙面曝光，正面曝光對(duì)準(zhǔn)精度1um，背面曝光對(duì)準(zhǔn)精度1.5um，支持最小CD尺寸2um工藝。

步進(jìn)光刻機(jī)(Ultatech Stepper)：對(duì)準(zhǔn)精度0.3um，工藝最小CD 0.8um，可滿足大部分小線寬MEMS工藝CD。